扩散硅压力传感器工作原理及使用注意事项

发布于2021-01-04 13:59    文章来源:网络整理

       扩散压力传感器我们大大都人听这个名称应该感想很生疏,其实压力传感器是一种可以用于钢铁、化工等规模对压力举办丈量,与压力调理仪配套利用可实现压力自动节制。部门伴侣大概对扩散硅压力传感器事情道理、应用、利用留意事项不太相识,下面小编就来详细给各人说说扩散硅压力传感器。


扩散硅压力传感器事情道理及利用留意事项


  扩散硅压力传感器简介


  扩散硅压力传感器是操作压阻效应道理,回收集成工艺技能颠末掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,组成惠斯凳电桥。操作硅质料的弹性力学特性,在同一切硅质料长举办各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。


  扩散硅压力传感器的特点


  1、适合建造小量程的传感器

  硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点四周的低量程段无死区,建造压力传感器的量程可小到几个Kpa。

  2、输出敏捷度高

  硅应变电阻的敏捷因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的敏捷度就很高,一般量程输出为100mv阁下。因此对接口电路无非凡要求,利用较量利便。

  3、精度高

  由于传感器的感觉、敏感转换和检测三部门由同一个元件实现,没有中间转换环节,反复性和迟滞误差较小。由于单晶硅自己刚度很大,变形很小,担保了精采的线性。

  4、由于事情单性形变低至微应变数量级,弹性芯片最大位移在亚微米数量级,因而无磨损,无疲惫,无老化,寿命长达1×103压力轮回,机能不变,靠得住性高。

  5、由于硅的优良化学防腐机能,纵然长短断绝型的扩散硅压力传感器,也有相当水平的适应各类介质的本领。

  6、由于芯片回收集成工艺,又无传动部件,因此体积小,重量轻。


扩散硅压力传感器事情道理及利用留意事项


  CKY-204型扩散硅压力传感器的机能参数


  丈量介质:与316L不锈钢兼容的各类液体、气体或蒸汽

  量程范畴:-100 kPa~0~2kPa…60MPa

  压力方法:表压、绝压、密封压

  恒压供电:推荐10VDC,最大15VDC

  恒流供电:推荐1.5mA,最大4mA

  桥路电阻:4000Ω(典范值)

  综合精度:0.1%FS,0.3%FS,0.5%FS可选

  温度漂移:0.02%FS/℃

  时间漂移:≤0.2%FS/年

  赔偿温度:0~80℃

  介质温度:-40~125℃

  情况温度:-40~85℃。


  扩散硅压力传感器事情道理


  扩散硅压力传感器的压力直接浸染于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片发生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值产生变革,和用电子线路检测这一变革,并转换输出一个对应于这一压力的尺度丈量信号。


  扩散硅压力传感器利用留意事项


  1、温度赔偿,扩散硅式压力传感器是半导体,半导体具有很强的温度特性,没有温度赔偿,丈量误差大概会较量大。

  2、扩散硅式压力传感器传感膜片只有几十丝米厚,千万不能触碰。

  3、供电电压要不变,传感器内部实际就是一个电桥,供电电压颠簸会引起桥路输出变革,影响丈量精度。

  4、要在额定电压内利用,过压会导致传感器损坏。

  5、输出端不要短路。