扩散硅压力传感器我们大大都人听这个名称应该感想很生疏，其实压力传感器是一种可以用于钢铁、化工等规模对压力举办丈量，与压力调理仪配套利用可实现压力自动节制。部门伴侣大概对扩散硅压力传感器事情道理、应用、利用留意事项不太相识，下面小编就来详细给各人说说扩散硅压力传感器。

　　扩散硅压力传感器简介

　　扩散硅压力传感器是操作压阻效应道理，回收集成工艺技能颠末掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特点晶向，制成应变电阻，组成惠斯凳电桥。操作硅质料的弹性力学特性，在同一切硅质料长举办各向异性微加工，就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。

　　扩散硅压力传感器的特点

　　1、适合建造小量程的传感器

　　硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点四周的低量程段无死区，建造压力传感器的量程可小到几个Kpa。

　　2、输出敏捷度高

　　硅应变电阻的敏捷因子比金属应变计高50～100倍，故相应的传感器的敏捷度就很高，一般量程输出为100mv阁下。因此对接口电路无非凡要求，利用较量利便。

　　3、精度高

　　由于传感器的感觉、敏感转换和检测三部门由同一个元件实现，没有中间转换环节，反复性和迟滞误差较小。由于单晶硅自己刚度很大，变形很小，担保了精采的线性。

　　4、由于事情单性形变低至微应变数量级，弹性芯片最大位移在亚微米数量级，因而无磨损，无疲惫，无老化，寿命长达1×103压力轮回，机能不变，靠得住性高。

　　5、由于硅的优良化学防腐机能，纵然长短断绝型的扩散硅压力传感器，也有相当水平的适应各类介质的本领。

　　6、由于芯片回收集成工艺，又无传动部件，因此体积小，重量轻。

　　CKY-204型扩散硅压力传感器的机能参数

　　丈量介质：与316L不锈钢兼容的各类液体、气体或蒸汽

　　量程范畴：-100 kPa～0～2kPa…60MPa

　　压力方法：表压、绝压、密封压

　　恒压供电：推荐10VDC，最大15VDC

　　恒流供电：推荐1.5mA，最大4mA

　　桥路电阻：4000Ω(典范值)

　　综合精度：0.1%FS，0.3%FS，0.5%FS可选

　　温度漂移：0.02%FS/℃

　　时间漂移：≤0.2%FS/年

　　赔偿温度：0～80℃

　　介质温度：-40～125℃

　　情况温度：-40～85℃。

　　扩散硅压力传感器事情道理

　　扩散硅压力传感器的压力直接浸染于传感器的膜片上（不锈钢或陶瓷），使膜片发生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值产生变革，和用电子线路检测这一变革，并转换输出一个对应于这一压力的尺度丈量信号。

　　扩散硅压力传感器利用留意事项

　　1、温度赔偿，扩散硅式压力传感器是半导体，半导体具有很强的温度特性，没有温度赔偿，丈量误差大概会较量大。

　　2、扩散硅式压力传感器传感膜片只有几十丝米厚，千万不能触碰。

　　3、供电电压要不变，传感器内部实际就是一个电桥，供电电压颠簸会引起桥路输出变革，影响丈量精度。

　　4、要在额定电压内利用，过压会导致传感器损坏。

　　5、输出端不要短路。